毫厘微流控?通量?產系統，兼容?命科學領域的不同微球（材料：硅膠、聚合物、瓊脂糖、磁性材料/ 尺?：納??微?級尺/ 形式：均相/?均相）
采用光刻機進行設計圖案的光刻，通常需要百納米納米至微米級別的光刻精度，由于微流道精度暫時無需達到半導體芯片尺度，所以設備相對無需過于精細化。
采用蝕刻機在晶圓上直接形成微流道，由于微流道的形態、粗糙度、尺寸均一性將對實際使用中的流體形態造成最直接的影響，通常一個新的微流道設計需要進行多次的蝕刻參數調整和打樣以達到最優的微流道形成效果。
為了使得微流道表面性質能夠更加穩定的輸送不同類型的微球原液，在微流道封閉前還需要進行表面的改性，放大微流道表面有利于微流體控制的各項特性。
前面的工作還僅僅是在形成一個開放式的微流道，為了使其真正成為微流控微流道，還需要進行封閉，既是晶圓鍵合，為了適應不同尺寸微流道在同一層級甚至多層鍵合需求，設備的結構需要根據微流控芯片進行調整，并且為了保證完全鍵合及其最終的強度，不同的微流控芯片將采用其特定的設備參數。
搭載基于全球領先的微流控（Microfluids，μF）技術開發的高通量微球生成芯片的高度自動化微球制備平臺，用于多種類型的納米、微米級別的功能性微球和生物粒子的分選、制備和工業級大批量生產。
地址：浙江省杭州市濱江區西興街道繽紛街615號5層
電話：+86-0571-87072276
郵箱：support@haolitech.com
